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西安理工大学材料科学与工程学院微细图形光刻机采购项目征求意见公示


西安理工大学材料科学与工程学院因科研需求拟采购微细图形光刻机。科研中需使用自制感光凝胶进行曝光直接获得相关功能薄膜的微细图形,因此要求使用小于500 W高压汞灯光源、在365nm附近波长下、有效照射直径100 mm范围内得到的曝光强度为50毫瓦每平方厘米以上,且1小时内光源曝光能量密度稳定性和3英寸范围内曝光均匀性均小于±5%。该项目仅有日本MIKASA公司能够满足,拟采取单一来源采购方式采购,由牛尾贸易(上海)有限公司提供。现将有关情况向潜在政府采购供应商广泛征求意见。征求意见期限从2018年1月10日起至2018年1月16日止。

潜在政府采购供应商对公示内容有异议的,请在公示期内以实名书面(包括联系人、地址、联系电话)形式将意见反馈至省财政厅政府采购与行政事业单位资产管理处(029-68936148)和 西安理工大学 (地址:陕西省西安市金花南路5号, 联系人: 王老师,联系电话:029-82312371)。

西安理工大学

2018年1月10日

附:专家论证意见及专家姓名、工作单位


单一来源采购专家论证意见表

时间:  2017年1月29日

省级一级

预算单位

西安理工大学

使用单位

西安理工大学

项目名称

西安理工大学材料科学与工程学院微细图形光刻机采购

项目金额

50万人民币

专家1

论证意见

西安理工大学材料科学与工程学院因科研需采购光刻机设备,期参数要求(365nm波长曝光得到的曝光强度?50毫瓦每平方厘米),使用方经过调研,各公司产品技术参数只有日本MIKASA公司达到要求,建议采用单一来源采购方式进行采购。

专家姓名

王国华

职称

教授

工作单位

火箭军工程大学

专家2

论证意见

本次采购科研用设备(微细图形光刻机)为满足科研要求,其参数要求曝光强度50毫瓦每平方厘米以上,而经学校调研,各公司产品技术参数只有日本MIKASA公司满足学校要求设备的参数要求,因此符合单一来源唯一性原则,建议采用单一来源方式进行采购。

专家姓名

刘金安

职称

高工

工作单位

交大城市学院

专家3

论证意见

由于西安理工大学科研所需微细图形光刻机具有下列特殊要求:1)感光强度在50毫瓦每平方厘米以上条件要维持60分钟以上时间; 2)在超导膜的制作过程中一次形成复合膜,省去了专门制作感光膜的工艺。经过调研,目前国际上只有日本MIKASA公司生产的同类产品满足采购单位的需求,并且日本MIKASA公司在西安地区的唯一代理商为牛尾贸易(上海)有限公司,符合政府采购法中关于单一来源的“唯一性”要求,因此同意理工大学购买微细图形光刻机项目的采购采用单一来源的方式进行采购,并推荐由牛尾贸易(上海)有限公司承担此采购任务。

专家姓名

王水平

职称

高工

工作单位

西安电子科技大学

专家4

论证意见

西安理工大学材料科学与工程学院微细图形光刻机采购项目是该校国家自然科学基金项目(异质高温超导制备)科学研究专用。目前国内外该同类产品的生产厂较多,但曝光强度达到≥50mW/平方厘米及光源≤500W的使用要求,曝光时间≥60分钟,目前只有日本MIKASA公司的M-2LF型光刻机符合该校该项目科学研究的要求。建议采用单一来源采购方式,采购日本MIKASA公司的M-2LF型光刻机。

专家姓名

?新学

职称

高工

工作单位

陕西师范大学

专家5

论证意见

采购方对进口光刻机设备分辨、精确度和生产效率的考虑,仅日本MIKASA公司的M-2LF型光刻机在有效照射直径100毫米范围内的曝光强度能达到50毫瓦每平方厘米以上。其他进口光刻机均无法达到采购方的该项技术指标。故建议采购日本MIKASA公司的M-2LF型光刻机设备。

专家姓名

李光伟

职称

律师

工作单位

律师事务所